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用于導電薄膜制造的濺射設備-臺式涂布機

  • 發(fā)布日期:2021-05-27      瀏覽次數(shù):867
    •  用于導電薄膜制造的濺射設備-臺式涂布機

       

      特征

      • 直流濺射類別中系列中小的超緊湊機型
      • 小型濺射裝置,可以輕松地制造電極薄膜
      • 標配間歇濺射功能
      • 使用的樣品臺和載物臺可以輕松更改TS之間的距離。

      應用/結(jié)果示例

      • 各種設備的電極膜附件
      • 用于制造反射薄膜等的應用

      基本規(guī)格

      陰極φ2英寸/平板型電極
      濺射靶包含金靶
      氣體導入機制針閥
      間歇功能標配
      真空泵直連式旋轉(zhuǎn)泵:20l / min(帶自動泄漏)
      箱體尺寸內(nèi)徑φ90mmx D90mm(SUS制)
      樣品交換方法前門開合式
      尺寸(寬/深/高)主體:160/326 / 286mm RP:300/160 / 200mm
      重量身體:10公斤RP:9公斤

       

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    聯(lián)系方式
    • 電話

    • 傳真

    在線交流
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