CHINO溫度計(jì)在半導(dǎo)體晶圓表面拋光溫度測(cè)量上的運(yùn)用

發(fā)布日期：2024-07-12      瀏覽次數(shù)：419

CHINO溫度計(jì)在半導(dǎo)體晶圓表面拋光溫度測(cè)量上的運(yùn)用

●適合裝置組裝的緊湊的檢測(cè)部

●可追隨溫度變化的高速響應(yīng)

在半導(dǎo)體宇工哈的電腦技術(shù)置中，通過(guò)研磨晶片直至達(dá)到與基座相同的高度，從而達(dá)到規(guī)定的厚度。研究星期一開(kāi)始調(diào)查后，晶片和基座之間會(huì)產(chǎn)生溫度差，但如果晶片達(dá)到與基座相同的高度，則溫度差消失。通過(guò)用放射溫度計(jì)測(cè)定研磨面的溫度，可以判斷研磨結(jié)束。

光狀態(tài)可以通過(guò)溫度確定，利用反饋優(yōu)化加工過(guò)程

相關(guān)產(chǎn)品

• 小型紅外輻射溫度計(jì)IR-BZP
  

• IR-BZ系列將檢測(cè)部與主體分離，檢測(cè)部更小，可在高溫環(huán)境下使用。配備數(shù)字溫度顯示和參數(shù)設(shè)定功能，實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定測(cè)量。

• 即使環(huán)境溫度發(fā)生變化，也可以進(jìn)行高精度和穩(wěn)定的測(cè)量。

• 兼容要求15ms跟隨性的生產(chǎn)線

• 范圍寬，從低溫范圍（0至1000℃）

• 圖形記錄儀KR2000寬144x高144毫米
  

• KR2000系列是一款兼容網(wǎng)絡(luò)的無(wú)紙記錄儀，采用5.6英寸TFT彩色液晶顯示屏，具有出色的可視性，兼具高功能性和可操作性。采集周期約為100ms，精度為±0.1%FS，實(shí)現(xiàn)高速、高精度。測(cè)量數(shù)據(jù)可保存在內(nèi)存和最大8GB的緊湊型閃存卡（CF卡）中。可以使用網(wǎng)絡(luò)瀏覽器屏幕從內(nèi)聯(lián)網(wǎng)或互聯(lián)網(wǎng)上的多臺(tái)計(jì)算機(jī)進(jìn)行監(jiān)控，并且可以通過(guò) FTP 傳輸數(shù)據(jù)文件或通過(guò)電子郵件發(fā)送數(shù)據(jù)文件。

• 配備出色的可操作性和廣泛的記錄功能，網(wǎng)絡(luò)兼容無(wú)紙記錄儀，并支持自定義圖形

• 共22種多量程輸入（直流電壓、熱電偶、測(cè)溫電阻）

• 配備趨勢(shì)顯示、棒圖顯示、數(shù)值顯示等多種顯示功能。

• 最大8GB的CF卡可用于數(shù)據(jù)記錄，因此可以長(zhǎng)期連續(xù)記錄。

• 配備算術(shù)、比較、邏輯運(yùn)算等計(jì)算功能，還可以對(duì)輸入數(shù)據(jù)進(jìn)行預(yù)定運(yùn)算并顯示和記錄。

• 報(bào)警輸出和上/下通訊可供選擇?？梢允褂孟聦油ㄐ庞涗泚?lái)自市售PLC*的數(shù)據(jù)，也可以從KR2000將數(shù)據(jù)寫(xiě)入PLC。（*PLC 型號(hào)有限制。）

• 通過(guò)使用可選的自定義圖形功能，用戶在 PC 上創(chuàng)建的圖形屏幕（使用 KR Screen Designer，單獨(dú)出售）可以顯示在 KR 上。

• 測(cè)量數(shù)據(jù)記錄在內(nèi)存和CF卡中，并且可以在主機(jī)上回放。此外，通過(guò)使用分析/數(shù)據(jù)采集應(yīng)用軟件TRAMS，您可以輕松回放、顯示和編輯記錄儀采集的數(shù)據(jù)文件。

• 圖形記錄儀KR3000寬288x高288毫米
  

• KR3000系列是一款兼容網(wǎng)絡(luò)的無(wú)紙記錄儀，采用可視性佳的12.1英寸TFT彩色液晶顯示屏和觸摸屏操作系統(tǒng)，功能強(qiáng)大且易于操作。采集周期約為100ms/所有點(diǎn)，精度為±0.1%FS的高速和高精度。測(cè)量數(shù)據(jù)可保存在內(nèi)存和最大8GB的緊湊型閃存卡（CF卡）中?？梢允褂镁W(wǎng)絡(luò)瀏覽器屏幕從內(nèi)聯(lián)網(wǎng)或互聯(lián)網(wǎng)上的多臺(tái)計(jì)算機(jī)進(jìn)行監(jiān)控，并且可以通過(guò) FTP 傳輸數(shù)據(jù)文件或通過(guò)電子郵件發(fā)送數(shù)據(jù)文件。

• 配備出色的可操作性和廣泛的記錄功能，網(wǎng)絡(luò)兼容無(wú)紙記錄儀，并支持自定義圖形

• 共22種多量程輸入（直流電壓、熱電偶、測(cè)溫電阻）

• 配備趨勢(shì)顯示、棒圖顯示、數(shù)值顯示等多種顯示功能。

• 最大8GB的CF卡可用于數(shù)據(jù)記錄，因此可以長(zhǎng)期連續(xù)記錄。

• 配備算術(shù)、比較、邏輯運(yùn)算等計(jì)算功能，還可以對(duì)輸入數(shù)據(jù)進(jìn)行預(yù)定運(yùn)算并顯示和記錄。

• 報(bào)警輸出和上/下通訊可供選擇?？梢允褂孟聦油ㄐ庞涗泚?lái)自市售PLC*的數(shù)據(jù)，也可以從KR3000將數(shù)據(jù)寫(xiě)入PLC。（*PLC 型號(hào)有限制。）

• 測(cè)量數(shù)據(jù)記錄在內(nèi)存和CF卡中，并且可以在主機(jī)上回放。此外，通過(guò)使用分析/數(shù)據(jù)采集應(yīng)用軟件TRAMS，您可以輕松回放、顯示和編輯記錄儀采集的數(shù)據(jù)文件。

• 通過(guò)使用可選的自定義圖形功能，用戶在 PC 上創(chuàng)建的圖形屏幕（使用 KR Screen Designer，單獨(dú)出售）可以顯示在 KR 上。