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晶體晶格畸變非接觸式檢測設(shè)備CS-1的特點

  • 發(fā)布日期：2024-05-21      瀏覽次數(shù)：193

      • 晶體晶格畸變非接觸式檢測設(shè)備CS-1的特點

      "Crystalline Tester CS1"是非破壞性、非接觸式檢測可見光（波長400～800nm）透明性晶體材料中由于殘留的缺陷、應(yīng)力引起的晶格畸變后分布情況的便捷式檢測設(shè)備。通過本設(shè)備可以實現(xiàn)快速、準(zhǔn)確地把握目檢下無法看到的晶體晶格畸變的狀態(tài)。

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      產(chǎn)品特征

      產(chǎn)品特長

      1. 高速測量（6" 襯底　90秒）
        ?可以最快速度簡捷方式觀察殘留應(yīng)力分布。

      2. 縱向結(jié)晶評價
        ?因為是透視型結(jié)晶評價裝置，所以不只可以觀察襯底表面，還可以觀察包括Z軸方向的晶圓所有部位。

      3. 可取得與X-Ray Topography imaging comparison同等測試效果
        ?可以取得同等測試效果，實現(xiàn)高速低成本。

      4. 價格競爭力
        ?在晶片測量裝置中，屬于性價比好的一款系統(tǒng)。

      可測量材料

      1. SiC單晶襯底、及SiC外延襯底

      2. GaN單晶襯底、及GaN外延襯底

      3. AlN單晶襯底、及AlN外延襯底

      4. 可視光可透視、有雙折射效果的結(jié)晶均可。

      測試效果不佳材料

      ?無可視光透視性材料：Si、GaAs等
      ?無雙折射效果材料：藍(lán)寶石、Ga2O3 等

      CS1畫像と目視畫像との比較


    聯(lián)系方式
    • 電話

    • 傳真

    在線交流