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半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中露點(diǎn)儀的選擇

  • 發(fā)布日期:2023-12-17      瀏覽次數(shù):392
    • 半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中露點(diǎn)儀的選擇

      半導(dǎo)體芯片對(duì)現(xiàn)代社會(huì)的重要性不言而喻,是支持5G,物聯(lián)網(wǎng),AI,自動(dòng)駕駛汽車(chē),智能穿戴等市場(chǎng)發(fā)展的關(guān)鍵因素。隨著芯片尺寸的減小和更加精密,制造工藝要求也越來(lái)越精細(xì),更嚴(yán)格的規(guī)范和生產(chǎn)誤差。反過(guò)來(lái),這將更加依賴(lài)于監(jiān)測(cè)和控制工藝條件的傳感器和儀器性能,盡可能降低減產(chǎn)或整批晶圓報(bào)廢的風(fēng)險(xiǎn)。

      被稱(chēng)為半導(dǎo)體“血液"的電子氣體是芯片制造業(yè)*,它參與蝕刻、清洗、外延生長(zhǎng)、離子注入等各個(gè)環(huán)節(jié)。它的純度影響集成電路的性能、集成度、成品率等,隨著芯片制造工藝的小型化,半導(dǎo)體生產(chǎn)對(duì)電子氣體的純度提出了更高的要求。

      氣體中的露點(diǎn)測(cè)量是一個(gè)挑戰(zhàn),以99.9999%的高純氮?dú)鉃槔?,其水分含量低?ppm,也就是100萬(wàn)個(gè)氣體分子中, 不到1個(gè)水分子。如此微量的水分子含量, 對(duì)濕度傳感器的靈敏度和準(zhǔn)確性都是一個(gè)真正的考驗(yàn)。在過(guò)往,高精度的水分儀往往伴隨著高成本,而隨著金屬氧化物陶瓷濕度傳感器的開(kāi)發(fā),在精度和成本上的選擇不再是魚(yú)和熊掌不能兼得的困境。

      TK-100在線露點(diǎn)儀

      過(guò)去 40 年來(lái),Techne Keisaku Co., Ltd. 一直致力于濕度管理和測(cè)量設(shè)備(主要是露點(diǎn)計(jì))。電容式(阻抗式)露點(diǎn)儀TK-100系列是Techne測(cè)量有限公司的主打產(chǎn)品,用于測(cè)量露點(diǎn)或水分含量。
      TK-100在線露點(diǎn)儀是TK-100變送器、監(jiān)視器和傳感器電纜的一套,因此您可以輕松開(kāi)始測(cè)量露點(diǎn)。

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      特征

      • 國(guó)內(nèi)開(kāi)發(fā)、國(guó)內(nèi)制造、國(guó)內(nèi)校準(zhǔn)

      • 露點(diǎn)測(cè)量范圍-100至+20℃dp

      • 精度±2℃dp

      • 高響應(yīng)速度

      • 有競(jìng)爭(zhēng)力的定價(jià)體系

      • 交貨快捷

      • 完善的支持體系

      • 可追溯至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

      主要用途

      • 手套箱內(nèi)的露點(diǎn)控制

      • 干燥機(jī)露點(diǎn)檢查

      • 熱處理爐內(nèi)氣氛控制

      • 潔凈室和干燥室的露點(diǎn)管理

      • 氣體純度控制

      • 天然氣水分管理

      • 半導(dǎo)體制造設(shè)備

      • 有機(jī)EL制造



    聯(lián)系方式
    • 電話(huà)

    • 傳真

    在線交流
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