sena 目視檢查高強(qiáng)度照明器介紹

發(fā)布日期：2023-04-18      瀏覽次數(shù)：542

sena 目視檢查高強(qiáng)度照明器介紹

SENA Superbeam 是一種用于晶圓、透鏡和玻璃基板表面檢測(cè)的照明設(shè)備，匯集了 30 多年的專業(yè)知識(shí)。 通過(guò)采用的透鏡和專用燈，使照射區(qū)域的照度保持均勻，可以獲得強(qiáng)而穩(wěn)定的光線。

在半導(dǎo)體前端制造過(guò)程中，化學(xué)和機(jī)械力結(jié)合作用使表面平滑的CMP（化學(xué)機(jī)械平面化）工藝有時(shí)會(huì)導(dǎo)致諸如裂紋和劃痕缺陷之類的表面損壞。為了有效地解決這一風(fēng)險(xiǎn)，需要對(duì)表面純度和平面度進(jìn)行非破壞性，非接觸式，波長(zhǎng)敏感的視覺(jué)檢查。研華提供的機(jī)器視覺(jué)整體解決方案涵蓋工業(yè)級(jí)圖像傳感器，高級(jí)計(jì)算，多核處理器和VisionNavi應(yīng)用軟件，這是一種基于用戶友好的基于流程圖的界面，可以簡(jiǎn)化開(kāi)發(fā)和部署，分支和循環(huán)功能，先進(jìn)的視覺(jué)應(yīng)用程序，并通過(guò)全局快門(mén)支持多種任務(wù)和攝像機(jī)，以提供精確而高效的半導(dǎo)體生產(chǎn)。

用途

晶圓表面質(zhì)量檢查          

液晶濾光片和彩色濾光片檢查

玻璃鏡片表面劃痕和異物檢查      

硅玻璃表面劃痕和異物檢查 

光掩膜表面劃痕和異物檢查       

膠片表面劃痕和異物檢查 

陶瓷表面檢查    

金屬表面（鋁、不銹鋼、銅等）

觸摸屏表面檢查      

汽車油漆質(zhì)量

	超高照度LED照明器件SELONE N ★ 長(zhǎng)壽命（20，000小時(shí)）LED ★ 內(nèi)置光圈，可調(diào)節(jié)照射直徑 由輕質(zhì)且高度散熱 ★的鋁制成 ★ 照度為200，800 lx以上，照射距離為000 mm
	廣角 LED 照明器件 SEL ONE ★ 長(zhǎng)壽命 ★（20，000 小時(shí)）LED 內(nèi)置光圈，可調(diào)節(jié)照射直徑 由輕質(zhì)且高度散熱 ★的鋁制成 ★ 照射直徑200mm φ照射距離135mm
	超高強(qiáng)度鹵素?zé)?85LE ★提供 3 種型號(hào)（標(biāo)準(zhǔn)/寬/窄） ★ 專用燈很容易 ★用引線替換。 燈箱采用內(nèi)置熱保險(xiǎn)絲，確保安全。 ★ 通過(guò)穩(wěn)壓直流照明系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的照度
	超高強(qiáng)度鹵素?zé)?185LE-AL ★ 鋁制燈箱重 1.2 公斤 ★ 可選擇拱形握把和錘形握把 手動(dòng) ★式，非常適合檢測(cè)大型面板 ★ 基本性能與185LE標(biāo)準(zhǔn)型相同
	選項(xiàng)和特殊訂單 ★ 各種 ★濾光片定制燈 使燈箱能夠運(yùn)行的配件 ★ 潔凈室等的排氣管 ★ 定制和改造以滿足新需求
	光纖照明裝置 185FI ★ 光纖導(dǎo)光板，減少 ★熱量 照明部分和主機(jī)可以安裝在不同的地方 燈箱可以 ★固定在支架上 ★ 可選導(dǎo)光長(zhǎng)度（0.25~3m）
	光纖照明器 370TFI/R ★ 采用雙光纖光導(dǎo)的超高照度 ★ 遠(yuǎn)程控制是標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備 ★ 輻照部件和主機(jī)可以安裝在不同的地方 ★ 可選導(dǎo)光長(zhǎng)度（0.5~5m）
	超高強(qiáng)度激光照明器 350LSFI ★ 照射距離 ★為220mm時(shí)照度為1，400，000 lx或更高 通過(guò)輸出控制進(jìn)行照度調(diào)整 ★，單位為 % 過(guò)濾器更換器 （RGB） 是標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備 ★ 可選導(dǎo)光長(zhǎng)度（1米/2米/3米）