熱式微型液體流量計(jì)F7M與傳統(tǒng)流量計(jì)的區(qū)別
通過將熱敏 MEMS 傳感器與高耐腐蝕石英玻璃流路相結(jié)合,我們實(shí)現(xiàn)了數(shù) mL/min 的微量液體流量測(cè)量,這是使用傳統(tǒng)測(cè)量方法難以測(cè)量的高再現(xiàn)性。
開發(fā)理念易于使用,因?yàn)樗灰资芰黧w狀態(tài)變化(氣泡、脈動(dòng)、流體溫度等)的影響,并且易于針對(duì)被測(cè)流體進(jìn)行校正(校正基于熱導(dǎo)率流體)。通過測(cè)量瞬時(shí)流量和累計(jì)流量代替泵轉(zhuǎn)速、重量測(cè)量和流體供應(yīng)時(shí)間管理等替代方法,可以根據(jù)更可靠的測(cè)量值在制造過程中進(jìn)行質(zhì)量控制和過程異常檢測(cè)。
與傳統(tǒng)流量計(jì)的比較
采用利用MEMS傳感技術(shù)的熱測(cè)量原理,可以測(cè)量過去難以穩(wěn)定測(cè)量的幾mL/min的微小流量。
(測(cè)量流量范圍:0.1~10mL/min、0.3~30mL/min、0.5~50mL/min)
它比傳統(tǒng)產(chǎn)品更小、更輕。
不需要單獨(dú)的轉(zhuǎn)換器(放大器)。
它可以使用隨附的安裝支架從頂面(用于水平管道)輕松安裝。
也可安裝在垂直管道中(流向:底部→頂部)。
由于流道是直的,壓力損失小,無積液,清洗方便。
符合IP65防護(hù)結(jié)構(gòu)。
由于產(chǎn)品外表面未使用金屬材料,因此可用于易受液體飛濺的環(huán)境,提高了對(duì)腐蝕性流體的耐受性。
接液部分由石英玻璃(流路)和氟樹脂(接頭)組成,傳感器不與液體接觸,因此可用于多種流體(不腐蝕石英玻璃或聚四氟乙烯的流體)。
測(cè)量范圍因流體的熱導(dǎo)率和密度而異,但可以使用校正功能來匹配輸出特性。
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