質(zhì)量流量控制器的原理與結(jié)構(gòu)

發(fā)布日期：2022-08-08      瀏覽次數(shù)：1552

質(zhì)量流量控制器的產(chǎn)品概述

質(zhì)量流量控制器通過測量流體的質(zhì)量流量來控制流量，因此無需對環(huán)境溫度或工作壓力的變化進(jìn)行補償，高精度穩(wěn)定的流體測量和控制是可能的裝置。在流量計、針閥等體積流量控制中，當(dāng)需要一定量的精確流量時，需要對溫度、壓力等的變化進(jìn)行補償。質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計用于半導(dǎo)體和平板顯示器等需要高精度流量測量和控制的領(lǐng)域，以及分析、燃料電池、液晶、有機EL、生物、培養(yǎng)、食品、環(huán)境測量、燃燒氣體，廣泛應(yīng)用于控制、工廠設(shè)備、實驗設(shè)備等所有過程和裝置。F-CON 的質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計是專門從事基本功能的低價產(chǎn)品，同時通過我們追求基本性能的技術(shù)降低成本并提高產(chǎn)品性能和可靠性，使其可用于廣泛的領(lǐng)域。我正在尋找制造。

質(zhì)量流量控制器的原理與結(jié)構(gòu)

質(zhì)量流量控制器的基本結(jié)構(gòu)由流量傳感器、旁路、閥門和控制電路組成，如下圖所示。

常用的傳感器稱為熱傳感器，其中電流施加到纏繞在不銹鋼毛細(xì)管上游和下游的電阻器上以產(chǎn)生熱量。當(dāng)沒有氣體流動時，上游和下游電阻器熱量保持平衡，流量輸出信號指示為零。

從入口進(jìn)入的氣體被轉(zhuǎn)移到傳感器并旁路。當(dāng)氣體流入傳感器時，上下游電阻之間會產(chǎn)生溫差，導(dǎo)致熱平衡崩潰，傳感器的溫度分布發(fā)生變化。這種變化被橋式電路捕獲并作為流量輸出信號取出。然后，將外部輸入的流量設(shè)定信號與傳感器流量輸出信號進(jìn)行比較，流量控制閥進(jìn)行PID運算（比例、積分、微分）使各自的信號電平匹配，閥門自動自開啟閥門的流量經(jīng)過微調(diào)，可以在設(shè)定的條件下始終控制流量穩(wěn)定的流量。



                                      ■ 質(zhì)量流量控制器的結(jié)構(gòu)







■ 關(guān)于流量傳感器的溫度分布

使用質(zhì)量流量控制器時的注意事項



●一般情況下，即使流量設(shè)置為零或強制關(guān)閉，質(zhì)量流量控制器也無法*關(guān)閉氣流。大多數(shù)質(zhì)量流量制造商基本上不保證控制流量范圍之外的控制。

●使用時，建議在質(zhì)量流量控制器前安裝閥門。這樣，可以使用質(zhì)量流量控制器來設(shè)定流量，通過打開和關(guān)閉閥門可以打開/關(guān)閉氣體。另外，質(zhì)量流量控制器的流量一經(jīng)設(shè)定就不會改變，所以總是再現(xiàn)相同的設(shè)定流量。

●即使在氣體流動時流量頻繁變化，也建議安裝閥門以*切斷氣體流動。

■左圖為閥配置流程示例。